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洁净室综合性能检测

电子工业厂房

 

项目
 

风量(换气次数)或风速

静压差

高效过滤器(PAO)检漏

悬浮粒子数

气流流型

温度

相对湿度

噪声

照度

自净时间

密闭性检测

臭氧浓度

隔离检漏

静电